QXP+

QXP+は、シングルウェーハ、マルチステーションのサーマルALD技術における大きな飛躍です。オンウェーハおよびウェーハ間の優れた性能と高いスループットを実現し、所有コストを低く抑えます。

QXP+システムには、モジュール式の化学物質供給、同心度制御、高度なプロファイルチューニングが組み込まれています。パフォーマンス、信頼性、コスト効率を重視して構築されたQXP+は、メモリおよびロジックアプリケーションにおいて世界中のお客様から信頼されています。