ウェーハ50枚×プロセスモジュール2枚=ハイスループットサーマルALD用製品ウェーハ容量100枚
マルチプリカーサー機能は、ナノラミネートのプロセスフローと高度な材料統合をサポートします。
最先端のヒーター技術と高い真空コンダクタンスにより、優れた熱制御と高速サイクルを実現します。
~ 3D構造を100％ステップでカバーし、ウェーハ内（WIW）の厚さの均一性とウェーハ間（WTW）の再現性に優れています。
製造工程全体でのパーティクル性能が低く、欠陥率が低い。
従来のバッチシステムよりも約1.5倍高いスループット。
CoOが低く、洗浄間隔が長いため、大量生産に最適
CoOが低く、洗浄間隔が長いため、大量生産に最適
