ハリアー L

Harrier Lは、窒化スペーサー、窒化物キャッピング、およびハードマスク窒化物層のハイスループット蒸着用に設計された大型バッチALDシステムです。サーマルALDとPE-ALDの両方の機能を備えているため、ロジックフローやメモリフローへの多様な統合が可能になるだけでなく、優れた膜均一性とクリーニング間隔の長い時間を実現します。