従来の炉よりも熱予算が低く、高度なノードに最適
タイトなスペックレイヤー用の優れた均一性コントロールノブ
モジュール式の柔軟性を備えた4チャンバーシステム。プロセス変更に必要なのはガス改質のみ
現場洗浄 (ISC) と湿式洗浄の間隔が長く、高出力を実現
SiGeの場合は最大56 WPH、ライナーSiの場合は最大40WPH
ドープポリ、SiGe、Si EPIなどをサポート
ブルージェイ
汎用性の高いシングルウェーハPCVD
メモリデバイスの SI ベースレイヤ用ツール
柔軟性を中核としたハイスループット成膜
Blue Jayは、優れた厚み制御とプロセス安定性を備えた高性能SiGe、ドープポリ、およびEPI層を実現するように構築されたシングルウェーハLPCVDシステムです。その4チャンバー構成により、前駆体を変更するだけで、同じプラットフォーム上で複数のプロセスを実行できます。Blue Jayは、スピード、柔軟性、低所有コストを求めるファブにとって実績のある主力製品です。
主な機能
シリコンからソフトウェアまで、あらゆるタッチポイントで信頼と効率をどのように構築しているかをご覧ください
